[实用新型]一种碳化硅长晶设备有效
| 申请号： | 201920584271.4 | 申请日： | 2019-04-26 |
| 公开（公告）号： | CN210596323U | 公开（公告）日： | 2020-05-22 |
| 发明（设计）人： | 刘星;刘鹏飞;窦文涛;梁庆瑞;梁晓亮;张红岩;刘圆圆 | 申请（专利权）人： | 山东天岳先进材料科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B29/36 | 分类号： | C30B29/36;C30B23/02 |
| 代理公司： | 济南千慧专利事务所(普通合伙企业) 37232 | 代理人： | 赵长林 |
| 地址： | 250100 山东省济南市高新区*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本申请涉及一种碳化硅长晶设备，属于晶体生长设备领域。该碳化硅长晶设备包括：石墨坩埚，所述石墨坩埚内相对设置用于装载原料的装料桶和籽晶，所述装料桶包括至少一个气体出口，所述装料桶可通过调节机构向籽晶方向往复移动；加热装置，通过感应加热方式加热石墨坩埚使得升华原料从气体出口流出后气相传输至籽晶表面长晶；以及保温结构，所述石墨坩埚设置在保温结构腔内，用于控制石墨坩埚散热；炉体，所述保温结构设置在炉体内，所述加热装置环绕设置在炉体外。该碳化硅长晶设备可精确自动控制装料桶在热场中的位置，长晶环境稳定，生长的晶体的质量高，可充分挥发长晶原料，提高了长晶原料的利用率，节约了生产成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 碳化硅 设备 | ||
【主权项】：
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