[实用新型]一种用于SiC晶体生长的装炉定位工具

摘要

本实用新型公开一种用于SiC晶体生长的装炉定位工具，包括定位环外圈，所述定位环外圈上固定有若干个定位机构，所述定位机构包括石墨螺杆、固定套筒、伸缩件和定位环内圈，所述定位环外圈上开设有若干个通孔，所述固定套筒安装在定位环外圈外表面上，所述石墨螺杆通过定位环外圈的通孔旋接在所述固定套筒上，所述定位环内圈与所述定位环外圈通过伸缩件固定连接，所述石墨螺杆包括端部和螺杆部，所述端部与螺杆部固定连接，所述螺杆部的表面上固定有刻度尺；本实用新型的装炉定位工具在SiC单晶装炉过程中保证了坩埚和中频感应线圈同心，使生长的SiC单晶界面良好，边缘薄厚均匀。