[实用新型]一种改善涂布机台的杯槽机构寿命的装置有效
| 申请号： | 201920589832.X | 申请日： | 2019-04-26 |
| 公开（公告）号： | CN210045504U | 公开（公告）日： | 2020-02-11 |
| 发明（设计）人： | 黄光伟;李立中;林伟铭;马跃辉;吴靖;庄永淳 | 申请（专利权）人： | 福建省福联集成电路有限公司 |
| 主分类号： | B05C11/10 | 分类号： | B05C11/10 |
| 代理公司： | 35219 福州市景弘专利代理事务所(普通合伙) | 代理人： | 徐剑兵;林祥翔 |
| 地址： | 351117 福建省莆*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种改善涂布机台的杯槽机构寿命的装置，包括环套，环套为中空结构，环套的内侧面上设置有多道斜檐，斜檐与水平面之间设置有夹角，斜檐与斜檐之间的环套内侧壁上设置有槽孔，槽孔与中空结构相导通设置。在涂布机台的杯槽内嵌套一个环套，使得在对晶圆进行旋转涂布时，被离心力甩开的液态光阻则会掉落于环套上，并通过环套上的斜檐对液态的光阻进行引流，使得液态的光阻通过槽孔进入环套的中空结构内，达到将光阻进行清理的目的。 | ||
| 搜索关键词： | 环套 光阻 中空结构 涂布机台 杯槽 槽孔 本实用新型 机构寿命 旋转涂布 引流 内侧壁 内嵌套 通过槽 掉落 导通 晶圆 | ||
【主权项】：
1.一种改善涂布机台的杯槽机构寿命的装置，其特征在于：包括环套；/n所述环套为中空结构，所述环套的内侧面上设置有多道斜檐，所述斜檐与水平面之间设置有夹角，所述斜檐与斜檐之间的环套内侧壁上设置有槽孔，所述槽孔与中空结构相导通设置。/n
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