[实用新型]一种微电子工艺教学套件有效
| 申请号： | 201920603578.4 | 申请日： | 2019-04-29 |
| 公开（公告）号： | CN209859353U | 公开（公告）日： | 2019-12-27 |
| 发明（设计）人： | 李严峰;姚健;封国强 | 申请（专利权）人： | 北京博达微科技有限公司 |
| 主分类号： | G09B9/00 | 分类号： | G09B9/00;G09B23/18 |
| 代理公司： | 11001 北京国林贸知识产权代理有限公司 | 代理人： | 李桂玲;杜国庆 |
| 地址： | 101300 北京市顺义区仁和镇澜*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种微电子工艺教学套件，包括微电子工艺实验控制箱，在控制箱内设置有控制电路板，控制电路板上设置含有微处理器的工艺实验控制电路，在控制箱正面设置有与控制电路连接的液晶显示屏和控制键盘，在控制箱侧面设置有与控制电路连接的测试接口，所述测试接口有多个，多个测试接口通过接口缆线分别连接有二极管器件测试板卡、三极管器件测试板卡、MOSFET器件测试板卡、LDMOS器件测试板卡和GaN器件测试板卡。本实用新型能够以按键和液晶显示屏结合的方式，给学生提供模拟真实半导体工艺设备操作的交互界面。操作简单，直观；学生可以更加通俗易懂的通过工艺设备的仿真操作，去理解和掌握半导体工艺的基本原理和关键技术。 | ||
| 搜索关键词： | 测试板卡 测试接口 控制电路 本实用新型 控制电路板 微电子工艺 液晶显示屏 控制箱 半导体工艺设备 半导体工艺 二极管器件 三极管器件 实验控制箱 微处理器 侧面设置 仿真操作 工艺设备 工艺实验 关键技术 交互界面 接口缆线 控制键盘 正面设置 按键 套件 学生 直观 教学 | ||
【主权项】：
1.一种微电子工艺教学套件，包括微电子工艺实验控制箱，在控制箱内设置有控制电路板，控制电路板上设置含有微处理器的工艺实验控制电路，在控制箱正面设置有与控制电路连接的液晶显示屏和控制键盘，其特征在于，在控制箱正面还设置有与控制电路连接的测试接口插座，所述测试接口插座有多个，多个测试接口插座通过接口缆线分别连接有二极管器件测试板卡、三极管器件测试板卡、MOSFET器件测试板卡、LDMOS器件测试板卡和GaN器件测试板卡，所述控制键盘被划分为多个按键区域，包括方向按键区、数字键盘区和测试功能选择按键区，其中：方向按键区的按键的信号引出，是以单个键信号引出的方式与微处理器信号输入端连接；数字键盘区和测试功能选择按键区的信号引出，是以“行”与“列”构成矩阵按键触点形成的多条“行”方向和“列”方向信号线与微处理器信号输入端连接。/n
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