[实用新型]复合式质谱检漏仪

摘要

本实用新型涉及一种复合式质谱检漏仪，涉及检测设备技术领域，其包括工作台及在工作台上装设的检测箱体，在检测箱体中均装设有固定装置，在工作台上位于检测箱体中开设有抽气孔、第一充气孔及检验孔，在工作台上位于检测箱体一侧开设有第二充气孔，充气孔连接有充气管，充气管远离充气孔的一端装设有与试件配合的插接头，在工作台中设有抽真空装置、充氦气装置及氦气分析仪，抽真空装置与抽气孔连接，充氦气装置与第一充气孔及第二充气孔连接，并且在工作台上设有检测吸枪，本实用新型能够根据试件的种类选择不同的检测方法对其进行检测，并且可以同时采用多种检测方式，从而提升其适应性及检测质量。

主权项

1.一种复合式质谱检漏仪，其特征在于：包括工作台（1）、在所述工作台（1）上装设的检测箱体（2），在所述检测箱体（2）中均装设有固定装置（3），在工作台（1）上位于所述检测箱体（2）中开设有抽气孔（11）、第一充气孔（12）及检验孔（13），在所述检验孔（13）上连接有检验管（131），所述检验管（131）远离检验孔（13）的一端连接有与试件配合的插接头（132），在工作台（1）上位于所述检测箱体（2）一侧开设有第二充气孔（14），所述第二充气孔（14）连接有充气管（141），所述充气管（141）远离第二充气孔（14）的一端装设有与试件配合的插接头（132），在所述工作台（1）中设有抽真空装置（4）、充氦气装置（5）及氦气分析仪（6），所述抽真空装置（4）与抽气孔（11）连接，所述充氦气装置（5）与所述第一充气孔（12）及第二充气孔（14）连接，并且在所述工作台（1）上设有检测吸枪（15）。