[实用新型]晶圆固定钢圈有效
| 申请号： | 201920610878.5 | 申请日： | 2019-04-29 |
| 公开（公告）号： | CN209831802U | 公开（公告）日： | 2019-12-24 |
| 发明（设计）人： | 刘兆青;曹周 | 申请（专利权）人： | 杰群电子科技(东莞)有限公司 |
| 主分类号： | B26D7/01 | 分类号： | B26D7/01 |
| 代理公司： | 11638 北京权智天下知识产权代理事务所(普通合伙) | 代理人： | 王新爱 |
| 地址： | 523000 广东省东莞*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开一种晶圆固定钢圈，包括钢圈本体，所述钢圈本体的中部设置有用于在水平方向上固定晶圆的晶圆固定孔，在所述晶圆固定孔的周部设置有固定胶膜切割刃，所述固定胶膜切割刃为弧形，通过在所述钢圈本体上设置切割槽形成。本方案中通过设置切割槽，切割刀可以伸入到切割槽中，从而对胶膜进行充分的切割，一次切割即可实现切透。同时通过在钢圈本体上形成固定胶膜切割刃，使得在胶膜切割过程切割刀的刀刃与固定胶膜切割刃之间形成剪切效果，从而实现一次性切穿胶膜，避免多次画圆切割胶膜会导致胶膜产生胶膜丝，避免影响后续工艺进行。 | ||
| 搜索关键词： | 钢圈本体 固定胶膜 切割刃 胶膜 切割槽 晶圆 固定孔 切割刀 本实用新型 固定钢圈 后续工艺 剪切效果 胶膜切割 切割胶膜 一次切割 一次性 画圆 伸入 种晶 周部 刀刃 切割 | ||
【主权项】：
1.一种晶圆固定钢圈，其特征在于，包括钢圈本体，所述钢圈本体的中部设置有用于在水平方向上固定晶圆的晶圆固定孔，在所述晶圆固定孔的周部设置有固定胶膜切割刃，所述固定胶膜切割刃为弧形，通过在所述钢圈本体上设置切割槽形成。/n
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