[实用新型]硅片缓存机

摘要

本实用新型公开了一种硅片缓存机，包括缓存机构和传输机构；传输机构具有同步移动的多组传送带；缓存机构设置在传送带移动方向上的目标位置，其具有同步升降的多组缓存架；每组缓存架上均设有沿竖直方向彼此间隔排布的多个支架，两相邻支架之间具有用于容纳硅片边部的竖直间隙；传送带上的硅片被传送至目标位置时，硅片的边部进入缓存架上与之等高的竖直间隙；缓存架上升时，支架撑托硅片上升，使得传送带上的硅片移位至缓存架上；缓存架下降时，缓存架上的硅片下料至传送带上。本实用新型的缓存架配置在硅片流水线生产的两套设备之间，运行方向的前段设备暂停时逐层缓存硅片，设备启用时逐层缓存的硅片下料至流水线上，避免设备暂停过程中硅片受到损伤。