[实用新型]一种用于扩晶机的切膜装置有效
申请号: | 201920621473.1 | 申请日: | 2019-04-29 |
公开(公告)号: | CN209954725U | 公开(公告)日: | 2020-01-17 |
发明(设计)人: | 邹军 | 申请(专利权)人: | 深圳市普拉斯玛自动化设备有限公司 |
主分类号: | B26D1/06 | 分类号: | B26D1/06;B26D7/01;H01L21/67 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 518105 广东省深圳市宝安区松岗*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本实用新型涉及一种用于扩晶机的切膜装置,包括扩晶底盘、至少一个刀片和扩晶内环,所述扩晶底盘的边沿开设有至少一个安装槽,所述刀片设置于所述安装槽内,所述扩晶底盘的边沿还开设有环形槽,所述扩晶内环套设于所述环形槽内,所述刀片位于所述扩晶内环与所述扩晶底盘之间,所述刀片的一端凸出所述扩晶底盘的外壁。该切膜装置,在扩晶底盘的边沿设置一端从扩晶底盘外壁凸出的刀片,以代替设置在扩晶底盘外侧的旋转刀片,结构简单,造价低。 | ||
搜索关键词: | 底盘 刀片 切膜装置 安装槽 环形槽 内环 本实用新型 刀片设置 底盘外壁 旋转刀片 凸出 内环套 凸出的 晶机 外壁 | ||
【主权项】:
1.一种用于扩晶机的切膜装置,其特征在于,包括扩晶底盘、至少一个刀片和扩晶内环,/n所述扩晶底盘的边沿开设有至少一个安装槽,所述刀片设置于所述安装槽内,/n所述扩晶底盘的边沿还开设有环形槽,所述扩晶内环套设于所述环形槽内,所述刀片位于所述扩晶内环与所述扩晶底盘之间,所述刀片的一端凸出所述扩晶底盘的外壁。/n
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