[实用新型]一种晶棒外径尺寸检测机构有效

专利信息
申请号: 201920625463.5 申请日: 2019-05-05
公开(公告)号: CN210089658U 公开(公告)日: 2020-02-18
发明(设计)人: 曹建伟;朱亮;郑丽霞;卢嘉彬;王思宇;周锋;高红刚;罗叶枫;张航 申请(专利权)人: 浙江晶盛机电股份有限公司
主分类号: G01B21/10 分类号: G01B21/10
代理公司: 杭州中成专利事务所有限公司 33212 代理人: 周世骏
地址: 312300 浙江*** 国省代码: 浙江;33
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摘要: 实用新型是关于晶棒外圆滚磨领域,特别涉及一种晶棒外径尺寸检测机构。包括机械机构,机械机构包括接触式传感器,接触式传感器与传感器安装块相连,并通过螺母锁紧固定在传感器转接板上;传感器转接板安装在传感器安装支架上;传感器安装支架侧部开有通孔。轴承组件包括轴承安装座,轴承安装座内设有多组直线轴承;轴承安装座后侧与传感器连接座相连,传感器连接座内设有法兰型直线轴承;安装轴前端与接触式传感器相连,后部通过直线轴承与法兰型直线轴承设于轴承安装座与传感器连接座内,端部伸出传感器连接座并设有滚轮接触头。本实用新型能够实现晶棒外径尺寸的自动检测,有效的减少了人工操作,提高了加工效率。
搜索关键词: 一种 外径 尺寸 检测 机构
【主权项】:
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