[实用新型]节能型直拉单晶炉有效
申请号: | 201920627314.2 | 申请日: | 2019-05-05 |
公开(公告)号: | CN210085616U | 公开(公告)日: | 2020-02-18 |
发明(设计)人: | 魏海宁;林希宪;孙江南 | 申请(专利权)人: | 徐州晶睿半导体装备科技有限公司 |
主分类号: | C30B15/00 | 分类号: | C30B15/00;C30B29/06 |
代理公司: | 北京淮海知识产权代理事务所(普通合伙) 32205 | 代理人: | 华德明 |
地址: | 221000 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型公开一种节能型直拉单晶炉,包括矩形箱体,所述矩形箱体的外侧面上端设有锥形罩,锥形罩的外侧面上端中部设有柱形导流罩,柱形导流罩的外侧面上端设有外壳体,外壳体的内侧面中部设有定位板,定位板的上表面设有旋转电机,定位板的上表面中部转动连接有中空转轴,中空转轴的上端面设有电动提升装置,电动提升装置上连接有吊绳,且吊绳穿过中空转轴设置,吊绳的下端面设有拉晶杆,本节能型直拉单晶炉,结构紧凑,操作方便,使用时占用空间小,可以连续高效的进行单晶硅生产,真空上料泵的设置方便了原料的连续加注,通过电加热丝可以对原料进行预加热处理,取料口盖板的设置方便了原料的取出。 | ||
搜索关键词: | 节能型 直拉单晶炉 | ||
【主权项】:
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