[实用新型]一种用于热蒸发系统的衬底旋转装置

摘要

本实用新型提供一种用于热蒸发系统的衬底旋转装置，包括蒸发腔、设置在蒸发腔内的热蒸发部、衬底托盘、托盘支架、磁性金属薄片，以及设置在蒸发腔外侧的磁场激发装置，磁场激发装置与磁性金属薄片相互配合，托盘支架设置在热蒸发部上，所述的热蒸发部用于放置源材料，所述的衬底托盘放置在托盘支架上，所述的磁性金属薄片设置在衬底托盘上，所述的衬底托盘上还放置有衬底，本实用新型利用磁场控制衬底托盘缓慢升高1‑10mm，并通过激发旋转磁场控制衬底托盘匀速旋转，进一步提高了薄膜的均匀性，并且无需轴承部分，不存在机械磨损，从而进一步提高了装置的使用寿命；本实用新型无需对原来的热蒸发设备进行大的改进，进一步降低了生产成本。