[实用新型]缺陷检测装置及硅片分选设备有效

专利信息
申请号: 201920649746.3 申请日: 2019-05-08
公开(公告)号: CN210571994U 公开(公告)日: 2020-05-19
发明(设计)人: 李文;李昶;徐飞 申请(专利权)人: 无锡奥特维科技股份有限公司
主分类号: G01N21/88 分类号: G01N21/88
代理公司: 北京路胜元知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 11669 代理人: 路兆强;张亚彬
地址: 214000 江*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 实用新型提供一种缺陷检测装置及硅片分选设备,该缺陷检测装置包括:检测单元,设置在输送装置的机架上,且位于输送装置的指定检测位置上方,用于对经过指定检测位置的电池片或硅片的隐裂进行检测;及光源,设置在输送装置的机架上,用于向指定检测位置提供光照。本实用新型提供的缺陷检测装置,其可以在电池片或硅片的传输过程中自动检测电池片或硅片的缺陷,而且检测精度和可靠性较高。
搜索关键词: 缺陷 检测 装置 硅片 分选 设备
【主权项】:
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