[实用新型]一种安装工具有效
| 申请号： | 201920652370.1 | 申请日： | 2019-05-08 |
| 公开（公告）号： | CN209571401U | 公开（公告）日： | 2019-11-01 |
| 发明（设计）人： | 魏远哲;刘焰平 | 申请（专利权）人： | 武汉新芯集成电路制造有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/683 | 分类号： | H01L21/683;H01L21/67;B25B11/00;B23P19/00 |
| 代理公司： | 上海申新律师事务所 31272 | 代理人： | 俞涤炯 |
| 地址： | 430205 湖北*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及半导体制造技术领域，尤其涉及一种安装工具，用于静电吸盘的安装，安装工具包括：一环形架，环形架上设有多个安装孔，多个安装孔沿环形架的周向均匀设置；多个挂钩，均布于环形架的周向外侧，挂钩包括钩挂部，多个挂钩的钩挂部朝向环形架的同一面；一环形凸缘，设置于环形架与钩挂部同向的一面的外沿。本实用新型技术方案的有益效果在于：提供一种静电吸盘的安装工具，使上电极和分气盘之间距离均匀，避免聚合物聚集在缝隙内而影响刻蚀制程的良率。 | ||
| 搜索关键词： | 环形架 安装工具 钩挂 本实用新型 静电吸盘 安装孔 挂钩 半导体制造技术 周向均匀设置 环形凸缘 分气盘 聚合物 同一面 电极 均布 刻蚀 良率 同向 外沿 制程 | ||
【主权项】：
1.一种安装工具，用于静电吸盘的安装，其特征在于，所述安装工具包括：一环形架，所述环形架上设有多个安装孔，多个所述安装孔沿所述环形架的周向设置；多个挂钩，均布于所述环形架的周向外侧，所述挂钩包括钩挂部，所述多个挂钩的所述钩挂部朝向所述环形架的同一面；一环形凸缘，设置于所述环形架的与所述钩挂部同向的一面的外沿。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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