[实用新型]一种光伏硅片湿洗工艺酸刻蚀添加剂补液装置有效
申请号: | 201920661440.X | 申请日: | 2019-05-09 |
公开(公告)号: | CN209843736U | 公开(公告)日: | 2019-12-24 |
发明(设计)人: | 张震华 | 申请(专利权)人: | 绍兴拓邦电子科技有限公司 |
主分类号: | H01L31/18 | 分类号: | H01L31/18;H01L21/306;C23F1/08;C23F1/24 |
代理公司: | 43210 长沙新裕知识产权代理有限公司 | 代理人: | 赵登高 |
地址: | 312353 浙江省绍兴*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种光伏硅片湿洗工艺酸刻蚀添加剂补液装置,包括储液槽、连通管、控制器、第一限位环、第二限位环和电源线,所述储液槽一侧内壁设置有连通管,所述连通管下端内壁设置有第一限位环,所述第一限位环上方设置有活塞,所述活塞外壁嵌入安装有密封圈,所述连通管上端内壁设置有第二限位环,所述第二限位环上方设置有活动块,所述活动块上表面安装有第二触点,所述连通管顶端内壁安装有固定块,所述固定块下表面固定有第一触点,所述储液槽一侧外壁安装有控制器。本实用新型通过设置液位上升时,利用连通器原理将空气带动活塞上升,避免酸性液体与活塞和第一触点、第二触点接触,减少出现腐蚀,延长使用寿命。 | ||
搜索关键词: | 限位环 连通管 活塞 储液槽 触点 本实用新型 控制器 固定块 活动块 内壁 密封圈 延长使用寿命 连通管顶端 连通器原理 补液装置 触点接触 光伏硅片 活塞外壁 嵌入安装 上端内壁 酸性液体 外壁安装 下端内壁 液位上升 电源线 上表面 酸刻蚀 下表面 湿洗 添加剂 腐蚀 | ||
【主权项】:
1.一种光伏硅片湿洗工艺酸刻蚀添加剂补液装置,包括储液槽(1)、连通管(6)、控制器(8)、第一限位环(12)、第二限位环(19)和电源线(20),其特征在于:所述储液槽(1)一侧内壁设置有连通管(6),所述连通管(6)下端内壁设置有第一限位环(12),所述第一限位环(12)上方设置有活塞(11),所述活塞(11)外壁嵌入安装有密封圈(13),所述连通管(6)上端内壁设置有第二限位环(19),所述第二限位环(19)上方设置有活动块(18),所述活动块(18)上表面安装有第二触点(17),所述连通管(6)顶端内壁安装有固定块(15),所述固定块(15)下表面固定有第一触点(16),所述储液槽(1)一侧外壁安装有控制器(8)。/n
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