[实用新型]一种光伏硅片湿洗工艺酸刻蚀添加剂补液装置有效

专利信息
申请号: 201920661440.X 申请日: 2019-05-09
公开(公告)号: CN209843736U 公开(公告)日: 2019-12-24
发明(设计)人: 张震华 申请(专利权)人: 绍兴拓邦电子科技有限公司
主分类号: H01L31/18 分类号: H01L31/18;H01L21/306;C23F1/08;C23F1/24
代理公司: 43210 长沙新裕知识产权代理有限公司 代理人: 赵登高
地址: 312353 浙江省绍兴*** 国省代码: 浙江;33
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要: 实用新型公开了一种光伏硅片湿洗工艺酸刻蚀添加剂补液装置,包括储液槽、连通管、控制器、第一限位环、第二限位环和电源线,所述储液槽一侧内壁设置有连通管,所述连通管下端内壁设置有第一限位环,所述第一限位环上方设置有活塞,所述活塞外壁嵌入安装有密封圈,所述连通管上端内壁设置有第二限位环,所述第二限位环上方设置有活动块,所述活动块上表面安装有第二触点,所述连通管顶端内壁安装有固定块,所述固定块下表面固定有第一触点,所述储液槽一侧外壁安装有控制器。本实用新型通过设置液位上升时,利用连通器原理将空气带动活塞上升,避免酸性液体与活塞和第一触点、第二触点接触,减少出现腐蚀,延长使用寿命。
搜索关键词: 限位环 连通管 活塞 储液槽 触点 本实用新型 控制器 固定块 活动块 内壁 密封圈 延长使用寿命 连通管顶端 连通器原理 补液装置 触点接触 光伏硅片 活塞外壁 嵌入安装 上端内壁 酸性液体 外壁安装 下端内壁 液位上升 电源线 上表面 酸刻蚀 下表面 湿洗 添加剂 腐蚀
【主权项】:
1.一种光伏硅片湿洗工艺酸刻蚀添加剂补液装置,包括储液槽(1)、连通管(6)、控制器(8)、第一限位环(12)、第二限位环(19)和电源线(20),其特征在于:所述储液槽(1)一侧内壁设置有连通管(6),所述连通管(6)下端内壁设置有第一限位环(12),所述第一限位环(12)上方设置有活塞(11),所述活塞(11)外壁嵌入安装有密封圈(13),所述连通管(6)上端内壁设置有第二限位环(19),所述第二限位环(19)上方设置有活动块(18),所述活动块(18)上表面安装有第二触点(17),所述连通管(6)顶端内壁安装有固定块(15),所述固定块(15)下表面固定有第一触点(16),所述储液槽(1)一侧外壁安装有控制器(8)。/n
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于绍兴拓邦电子科技有限公司,未经绍兴拓邦电子科技有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/201920661440.X/,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top