[实用新型]一种装载光学镀膜夹具的器具有效
| 申请号： | 201920677746.4 | 申请日： | 2019-05-13 |
| 公开（公告）号： | CN210001925U | 公开（公告）日： | 2020-01-31 |
| 发明（设计）人： | 肖家骐;陈东旭;罗江平;陆绿 | 申请（专利权）人： | 福建中科光芯光电科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50 |
| 代理公司： | 35100 福州元创专利商标代理有限公司 | 代理人： | 吴志龙;蔡学俊 |
| 地址： | 362700 福建省泉州市*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种装载光学镀膜夹具的器具，包括用于位于蒸发源上方的伞状行星锅，所述行星锅上沿圆周方向布设有圆形的夹具通孔，所述器具上部具有环形镀膜夹具的包括架于夹具通孔上部的第一圆环及由第一圆环下部延伸内缩的深入夹具通孔内的第二圆环，所述第二圆环的下部内缩延伸有第三圆环，所述第一圆环与第二圆环连接处形成的第一阶面用于支撑器具，所述第三圆环与第二圆环连接处形成的第二阶面用于承载夹具，本方案通过采用三段式的圆环结构，能够方便对夹具的支撑与固定，另外第一圆环及第二圆环作为抓取的承受壁，便于将夹具取出进行翻面。 | ||
| 搜索关键词： | 圆环 夹具 夹具通孔 阶面 内缩 行星 抓取 本实用新型 沿圆周方向 镀膜夹具 光学镀膜 圆环结构 三段式 蒸发源 翻面 延伸 支撑 装载 承载 取出 | ||
【主权项】：
1.一种装载光学镀膜夹具的器具，其特征在于，包括用于位于蒸发源上方的伞状行星锅，所述行星锅上沿圆周方向布设有圆形的夹具通孔，所述器具上部具有环形镀膜夹具的包括架于夹具通孔上部的第一圆环及由第一圆环下部延伸内缩的深入夹具通孔内的第二圆环，所述第二圆环的下部内缩延伸有第三圆环，所述第一圆环与第二圆环连接处形成的第一阶面用于支撑器具，所述第三圆环与第二圆环连接处形成的第二阶面用于承载夹具。/n
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