[实用新型]测试装置有效
| 申请号： | 201920680290.7 | 申请日： | 2019-05-10 |
| 公开（公告）号： | CN210270059U | 公开（公告）日： | 2020-04-07 |
| 发明（设计）人： | 陆天辰 | 申请（专利权）人： | 长鑫存储技术有限公司 |
| 主分类号： | G01R31/26 | 分类号： | G01R31/26 |
| 代理公司： | 上海晨皓知识产权代理事务所(普通合伙) 31260 | 代理人： | 成丽杰 |
| 地址： | 230601 安徽省合肥市*** | 国省代码： | 安徽;34 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型实施例涉及测试技术领域，公开了一种测试装置，包括：测试板、设置于测试板上的可移动侧体；测试板与可移动侧体围成容纳槽；可移动侧体可移动以调整容纳槽的底面尺寸，且调整后的容纳槽的底面露出的测试板用于承载待测半导体结构。使得在测试不同尺寸大小的芯片时，节约时间和人力。 | ||
| 搜索关键词： | 测试 装置 | ||
【主权项】：
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