[实用新型]溅射台托盘对准转移装置有效
| 申请号： | 201920681758.4 | 申请日： | 2019-05-14 |
| 公开（公告）号： | CN210102878U | 公开（公告）日： | 2020-02-21 |
| 发明（设计）人： | 王云翔;冒薇;段仲伟;马冬月;许爱玲;李晓帅 | 申请（专利权）人： | 苏州美图半导体技术有限公司 |
| 主分类号： | B65G47/90 | 分类号： | B65G47/90 |
| 代理公司： | 南京思拓知识产权代理事务所(普通合伙) 32288 | 代理人： | 苗建 |
| 地址： | 215123 江苏省苏州市工*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种溅射台托盘对准转移装置，其包括夹具操作装置、溅射台托盘以及能对准夹具；在对准夹具上设置若干均匀分布的夹爪压紧机构，通过压紧夹爪能对处于对准状态的衬底与掩膜板进行压紧；在溅射台托盘上设置若干弹性压紧机构，对准夹具套置在溅射台托盘上后，利用弹性压紧机构能对处于对准状态的衬底与掩膜板进行压紧，以将处于对准状态的衬底与掩膜板转移至溅射台托盘上；通过夹爪控制状态机构使得压紧夹爪张开时，能将溅射台托盘从对准夹具内移出。本实用新型结构紧凑，能保证溅射台托盘在转移过程中衬底与掩膜板间不会发生位移，能避免对衬底以及溅射台真空腔体造成污染，使用方便，安全可靠。 | ||
| 搜索关键词： | 溅射 托盘 对准 转移 装置 | ||
【主权项】：
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