[实用新型]一种可视化半导体光电化学微加工装置有效
| 申请号： | 201920682650.7 | 申请日： | 2019-05-13 |
| 公开（公告）号： | CN210150713U | 公开（公告）日： | 2020-03-17 |
| 发明（设计）人： | 刘国华;麦满芳;杜亮;马信洲 | 申请（专利权）人： | 佛山科学技术学院 |
| 主分类号： | B81C1/00 | 分类号： | B81C1/00;B81C99/00;H01L21/3063;H01L21/66;H01L21/67 |
| 代理公司： | 广州嘉权专利商标事务所有限公司 44205 | 代理人： | 谢泳祥 |
| 地址： | 528000 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型一种可视化半导体光电化学微加工装置，所述装置包括：半导体样品、光源、电解池、恒电位仪、光学斩波器、图像采集模块和电脑处理终端；所述电解池内设有参比电极和对电极，参比电极、对电极和作为工作电极的半导体样品浸泡在电解液中，所述参比电极、对电极和半导体样品均与恒电位仪电性连接；所述光源位于所述半导体样品的上方，用于照射所述半导体样品，所述光学斩波器位于所述光源和半导体样品之间；所述图像采集模块和恒电位仪均与所述电脑处理终端电性连接。本实用新型结构紧凑，实现可视化观察刻蚀过程，可扩展性强，根据半导体的禁带宽度可选择不同波长的光源，可应用于大部分半导体材料的微加工。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 可视化 半导体 光电 化学 加工 装置 | ||
【主权项】：
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