[实用新型]一种平面靶材的绑定设备有效
申请号: | 201920684656.8 | 申请日: | 2019-05-14 |
公开(公告)号: | CN210085565U | 公开(公告)日: | 2020-02-18 |
发明(设计)人: | 文锋 | 申请(专利权)人: | 东莞市欧莱溅射靶材有限公司 |
主分类号: | C23C14/34 | 分类号: | C23C14/34 |
代理公司: | 北京天盾知识产权代理有限公司 11421 | 代理人: | 林晓宏 |
地址: | 523000 广东省*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种平面靶材的绑定设备,其中的吸盘吊具设置有一用作调节起吊工件的倾斜度的吸盘支架和角度调节机构,吸盘支架与吊具主架之间通过铰链连接,各吸盘分别安装于吸盘支架的底部,各吸盘分别沿铰链的轴线方向并排设置;角度调节机构传动连接吸盘支架,以驱动吸盘支架以铰链为转轴进行转动。与现有技术相比,该绑定设备能使靶材基片以倾斜角度与背板进行贴合,减少焊接层气泡产生以及焊接层空气的残留量,使靶材基片与背板之间的焊合率高于99%,提高了平面靶材的绑定质量,及绑定效率,降低了企业的材料耗损和生产成本。 | ||
搜索关键词: | 一种 平面 绑定 设备 | ||
【主权项】:
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