[实用新型]柔性卷对卷磁控溅射镀膜中超薄基带牵引装置有效
| 申请号： | 201920686229.3 | 申请日： | 2019-05-14 |
| 公开（公告）号： | CN210127269U | 公开（公告）日： | 2020-03-06 |
| 发明（设计）人： | 王鲁南;窦立峰 | 申请（专利权）人： | 南京汇金锦元光电材料有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56;C23C14/35 |
| 代理公司： | 北京科亿知识产权代理事务所(普通合伙) 11350 | 代理人： | 王清义 |
| 地址： | 210046 江苏省南京*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及真空镀膜领域，提供一种柔性卷对卷磁控溅射镀膜中超薄基带牵引装置，采用高低真空腔真空度隔离装置，利用高低真空度压力差将需要沉积镀膜的柔性超薄基带与柔性辅助基带贴合形成抗拉强度较好的复合基带，为柔性超薄基带提供移动载体，防止柔性超薄基带变形，可广泛应用于连续柔性薄膜显示器、薄膜太阳能电池、柔性调光窗膜、柔性电磁屏蔽膜等的生产制造中。 | ||
| 搜索关键词： | 柔性 磁控溅射 镀膜 超薄 基带 牵引 装置 | ||
【主权项】：
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