[实用新型]一种分析ppb量级氙同位素丰度比的四极质谱测量装置

摘要

本实用新型公开了一种分析ppb量级氙同位素丰度比的四极质谱测量装置。该装置包括进样单元、一级纯化单元、二级纯化单元、低温提取单元和四极测量单元。该装置在四极质量分析器的前端增加了简单纯化单元，利用多离子探测模式，形成一个能够实现同位素丰度比测量功能的静态四极质谱仪。针对大气样品，该装置仅需要不超过1mL标准体积的气体，采用一定的处理技术，对氙同位素丰度比在10

主权项

1.一种分析ppb量级氙同位素丰度比的四极质谱测量装置，其特征在于，所述的四极质谱测量装置包括进样单元、一级纯化单元、二级纯化单元、低温提取单元和四极测量单元；/n进样单元包括通道（1）、全金属微漏阀（2）、样品室（3）、薄膜压力计（4）、隔离阀Ⅰ（5）、隔离阀Ⅱ（7）和金属三通接头（6）；金属三通接头（6）的进气端通过通道（1）与样品瓶连通，金属三通接头（6）的一个出气端通过通道（1）与隔离阀Ⅰ（5）、全金属微漏阀（2）和样品室（3）顺序连通，金属三通接头（6）的另一个出气端通过通道（1）与隔离阀Ⅱ（7）和涡旋干泵（22）顺序连通；薄膜压力计（4）测量样品室（3）的压力；/n一级纯化单元包括高温去气炉（8）和全金属角阀Ⅰ（9），所述的高温去气炉（8）通过全金属角阀Ⅰ（9）与样品室（3）连通，高温去气炉（8）中装填有吸附材料Ⅰ（10）；/n二级纯化单元包括样品通道（11）、去气炉（12）和真空规（14）；所述的样品室（3）通过样品通道（11）与全金属隔离阀Ⅱ（13）、全金属角阀Ⅵ（26）、全金属隔离阀Ⅲ（27）、全金属角阀Ⅴ（25）、全金属角阀Ⅲ（15）和去气炉（12）顺序连通，全金属角阀Ⅵ（26）上还顺序安装有涡轮分子泵（23）和涡旋干泵（22），全金属角阀Ⅴ（25）上还安装有离子溅射泵（24），全金属角阀Ⅴ（25）、全金属角阀Ⅲ（15）之间的样品通道（11）上安装有真空规（14）；去气炉（12）中装填有吸附材料Ⅱ（16）；/n低温提取单元包括低温吸附柱（17），低温吸附柱（17）通过全金属角阀Ⅳ（18）与样品通道（11）连接，低温吸附柱（17）工作时放置在外置低温装置（19）的低温池内；/n四极测量单元包括四极质量分析器（20），四极质量分析器（20）通过全金属隔离阀Ⅰ（21）与样品通道（11）连接。/n