[实用新型]一种防止硅片粘连的慢提拉槽体结构

摘要

本实用新型公开了一种防止硅片粘连的慢提拉槽体结构，包括慢提拉槽，所述慢提拉槽内设置有托盘，所述托盘上等距间隔设置有若干隔离板，所述隔离板两侧面均开设有引流槽。所述隔离板两侧面设置的引流槽呈交叉分布，每个侧面的引流槽设置有10‑15根，且引流槽宽度为0.5‑0.7mm，深度为0.3‑0.4mm。本实用新型在不对现有槽体结构与夹具工装进行改变的情况下，简单对慢提拉槽体内的托盘进行改造，增加一组等距间隔的隔离板，并且通过其上开设的引流槽，能够有效防止薄硅片的粘连，提高硅片良品率，实用性很强，非常值得推广。

主权项

1.一种防止硅片粘连的慢提拉槽体结构，包括慢提拉槽(1)，所述慢提拉槽(1)内设置有托盘(2)，其特征在于：所述托盘(2)上等距间隔设置有若干隔离板(3)，所述隔离板(3)两侧面均开设有引流槽(4)。