[实用新型]一种旋转支撑废气处理设备有效
| 申请号： | 201920697380.7 | 申请日： | 2019-05-16 |
| 公开（公告）号： | CN210332228U | 公开（公告）日： | 2020-04-17 |
| 发明（设计）人： | 宁腾飞;杨春水;陈彦岗;杨春涛;章文军;张继飞;张坤;闫萧;蔡传涛;席涛涛;王磊 | 申请（专利权）人： | 北京京仪自动化装备技术有限公司 |
| 主分类号： | B01D53/74 | 分类号： | B01D53/74;B01D53/18;F23G7/06 |
| 代理公司： | 芜湖思诚知识产权代理有限公司 34138 | 代理人： | 崔金 |
| 地址： | 100000 北京市大兴区北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种旋转支撑废气处理设备，涉及半导体行业废气处理技术领域，包括机台本体，所述机台本体包括机架以及安装于机架内的废气处理系统，本实用新型通过设置等离子体火炬、反应塔、水箱和洗涤塔，实现废气的处理，通过设置支撑架、伺服电机辅助反应塔从机台本体中旋转出，且由于设置了伺服电机，可以控制旋转位置，实现自定位，直接在助力支撑装置上进行清洗维护，避免了因机台本体内部维护空间狭小导致的反应塔维护、安装与拆卸的不便，通过设置助力支撑装置，避免支撑架单点受力不牢靠，增加旋转支撑装置结构的稳定性，本装置结构简单，实用性高、维护省时省力。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 旋转 支撑 废气 处理 设备 | ||
【主权项】：
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