[实用新型]一种应用于半导体废气处理设备的水洗塔有效
申请号: | 201920702329.0 | 申请日: | 2019-05-16 |
公开(公告)号: | CN210473502U | 公开(公告)日: | 2020-05-08 |
发明(设计)人: | 章文军;杨春水;宁腾飞;陈彦岗;杨春涛;王继飞;张坤;闫萧;蔡传涛;席涛涛;王磊 | 申请(专利权)人: | 安徽京仪自动化装备技术有限公司 |
主分类号: | B01D53/18 | 分类号: | B01D53/18;B01D53/14;B01D47/06 |
代理公司: | 芜湖思诚知识产权代理有限公司 34138 | 代理人: | 郑直 |
地址: | 241000 安徽省芜湖*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种应用于半导体废气处理设备的水洗塔,涉及半导体行业废气处理技术领域,包括与车间废气处理设备水箱连接用的连接管,所述连接管上端卡箍连接水洗塔,所述水洗塔上设有数个水管连接头,本实用新型通过设置上层水洗塔、中层水洗塔、下层水洗塔,使得本装置拆卸、维护更加方便,通过设置溢流装置,给溢流装置通过设置上的水管连接车间自来水源,自来水进入溢流腔,随溢流口流入下连接件、中层水洗塔和下层水洗塔的内壁,从而对有污垢的塔壁进行水洗,通过在上层水洗塔上设置新风组合件,使得对上层水洗塔进行通风,减少了出口水气过多。 | ||
搜索关键词: | 一种 应用于 半导体 废气 处理 设备 水洗 | ||
【主权项】:
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