[实用新型]一种MEMS结构有效
| 申请号： | 201920713977.6 | 申请日： | 2019-05-18 |
| 公开（公告）号： | CN209748812U | 公开（公告）日： | 2019-12-06 |
| 发明（设计）人： | 刘端 | 申请（专利权）人： | 安徽奥飞声学科技有限公司 |
| 主分类号： | H04R19/04 | 分类号： | H04R19/04 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 230092 安徽省合肥市高新区习友路333*** | 国省代码： | 安徽;34 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本申请公开了一种MEMS(微机电系统)结构，包括：衬底，具有邻近设置的空腔和第一凹槽，所述第一凹槽在所述空腔的外围；压电复合振动层，形成在所述空腔的正上方并且位于所述第一凹槽中间，其中，位于所述第一凹槽与所述空腔之间的部分的所述衬底支撑所述压电复合振动层，其中，所述压电复合振动层的外围区域分布有贯穿所述压电复合振动层的多个第一通孔；质量块，形成在所述压电复合振动层的中间区域。通过使得位于第一凹槽和空腔之间的部分衬底材料支撑压电复合振动层，提高了压电复合振动层在声压作用下的位移和形变，降低了残余应力，进而提高了MEMS结构的灵敏度。 | ||
| 搜索关键词： | 压电复合 振动层 空腔 微机电系统 残余应力 衬底材料 衬底支撑 邻近设置 外围区域 中间区域 灵敏度 质量块 形变 衬底 声压 通孔 外围 贯穿 支撑 申请 | ||
【主权项】：
1.一种MEMS结构，其特征在于，包括：/n衬底，具有空腔；/n压电复合振动层，形成在所述空腔的正上方，其中，所述压电复合振动层的外围区域分布有贯穿所述压电复合振动层的多个第一通孔；/n质量块，形成在所述压电复合振动层的中间区域。/n
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于安徽奥飞声学科技有限公司，未经安徽奥飞声学科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201920713977.6/，转载请声明来源钻瓜专利网。
