[实用新型]一种环氧树脂光刻胶SU-8使用的优化系统

摘要

本实用新型公开了一种环氧树脂光刻胶SU‑8使用的优化系统，包括进行整体操作过程的无尘间，同时包括用于光刻胶过程的涂胶系统、烘烤系统以及曝光系统三组系统体系，所述无尘间的内部沿水平方向均匀布置有涂胶系统、烘烤系统以及曝光系统三组系统体系，且无尘间的内部位于烘烤系统的一侧放置有除湿机，所述涂胶系统、烘烤系统以及曝光系统三组系统体系均隔离放置，所述除湿机的控制精度为1％。本实用新型所述的一种环氧树脂光刻胶SU‑8使用的优化系统，在使用时能够节约成本，只需添加一步高精度的除湿机即可，并且很好地解决了SU‑8对湿度要求敏感的问题，同时还能与其他普通光刻胶兼用，带来更好的使用前景。