[实用新型]一种转移微纳样品的结构有效
申请号: | 201920720829.7 | 申请日: | 2019-05-20 |
公开(公告)号: | CN209963017U | 公开(公告)日: | 2020-01-17 |
发明(设计)人: | 韩晓东;李志鹏;毛圣成;邓青松;张剑飞;翟亚迪;李雪峤;张晴;马东锋;栗晓辰;马腾云;王立华;张泽 | 申请(专利权)人: | 北京工业大学 |
主分类号: | H01J37/20 | 分类号: | H01J37/20;G01N23/2005;G01N1/28 |
代理公司: | 11002 北京路浩知识产权代理有限公司 | 代理人: | 苗青盛;谭云 |
地址: | 100022 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本实用新型涉及材料显微实验设备技术领域,提供了一种转移微纳样品的结构,包括载物板、挡板以及基体;载物板与挡板连接呈“L”型,载物板的一端与基体相连;载物板上沿靠近基体的方向依次为样品区、过渡区以及粘接区;样品区用于搭载待测材料块,粘接区用于与目标载体进行连接。本实用新型实施例提供的转移微纳样品的结构,可以避免样品转移过程中受到离子束辐照产生的轰击、注入和溅射损伤和粘接沉积时的污染;通过设置过渡区还可以避免切削和沉积时的溅射损伤和污染;由于样品区的形状可以根据待测材料块的形状进行设置,有利于基于MEMS芯片的透射电镜原位力学平台实现更多加载功能,应用到更广泛的材料领域。 | ||
搜索关键词: | 载物板 样品区 本实用新型 挡板 待测材料 过渡区 粘接区 溅射 沉积 损伤 设备技术领域 离子束辐照 材料领域 力学平台 目标载体 透射电镜 显微实验 样品转移 切削 加载 粘接 轰击 污染 应用 | ||
【主权项】:
1.一种转移微纳样品的结构,其特征在于,包括载物板、挡板以及基体;/n所述载物板与所述挡板连接呈“L”型,所述载物板的一端与所述基体相连,所述基体垂直于所述载物板与所述挡板;/n所述载物板上沿靠近所述基体的方向依次为样品区、过渡区以及粘接区;/n所述样品区用于搭载待测材料块,所述过渡区用于将所述样品区与所述粘接区分隔开,所述粘接区用于与目标载体进行连接。/n
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