[实用新型]一种直写式曝光机有效
| 申请号： | 201920726893.6 | 申请日： | 2019-05-21 |
| 公开（公告）号： | CN209962089U | 公开（公告）日： | 2020-01-17 |
| 发明（设计）人： | 钱志斌;李伟成;张雷 | 申请（专利权）人： | 苏州源卓光电科技有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215026 江苏省苏州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种直写式曝光机，其包括底座、置于所述底座上平行排列的第一龙门机构、第二龙门机构、步进轴运动组件、置于所述步进轴运动组件上的基板平台组件、置于第一龙门机构的对位机构、置于第二龙门机构曝光机构，所述第一龙门机构和第二龙门机构将所述底座分为上板区、对位区、曝光区和下板区，所述上板区位于所述第一龙门机构前，所述对位区位于所述第一龙门机构下方，所述曝光区位于所述第二龙门机构下方，所述下板区与所述曝光区重合或部分重合或位于所述第二龙门机构后方，所述步进轴运动组件带动所述基板平台组件依次穿过上述区域。所述直写式曝光机更加有利于应用于全自动化的方式。 | ||
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【主权项】：
1.一种直写式曝光机，其包括底座、置于所述底座上平行排列的第一龙门机构、第二龙门机构、步进轴运动组件、置于所述步进轴运动组件上的基板平台组件、置于第一龙门机构的对位机构、置于第二龙门机构曝光机构，其特征在于：所述第一龙门机构和第二龙门机构将所述底座分为上板区、对位区、曝光区和下板区，所述上板区位于所述第一龙门机构前，所述对位区位于所述第一龙门机构下方，所述曝光区位于所述第二龙门机构下方，所述下板区与所述曝光区重合或部分重合或位于所述第二龙门机构后方，所述步进轴运动组件带动所述基板平台组件依次穿过上述区域。/n
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