[实用新型]一种全自动溅镀装置有效
| 申请号： | 201920728459.1 | 申请日： | 2019-05-21 |
| 公开（公告）号： | CN210314466U | 公开（公告）日： | 2020-04-14 |
| 发明（设计）人： | 陈道理 | 申请（专利权）人： | 盱眙新远光学科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 211700 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种全自动溅镀装置，包括：溅镀仓，所述溅镀仓上端设有上固定板、下端设有下固定板，下固定板安装在设备支架上，所述上固定板上设有阳极电极、所述下固定板上设有阴极电极，所述阳极电极通过阳极电极固定支架安装在上固定板，阴极电极通过阴极电极固定支架安装在下固定板上，所述溅镀仓一侧设有溅镀气体入口、另一侧设有抽真空排出口，所述溅镀仓内设有溅镀件固定支架，溅镀件固定支架一端安装在旋转电机上，所述旋转电机通过电机固定座安装在溅镀仓内。本实用新型，可以对溅镀件进行立体溅镀，大大提高了自动化程度，而且，特别适用于中空物件的溅镀，可以提高溅镀效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 全自动 装置 | ||
【主权项】：
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