[实用新型]一种靶材固定装置有效
| 申请号： | 201920728904.4 | 申请日： | 2019-05-20 |
| 公开（公告）号： | CN210796608U | 公开（公告）日： | 2020-06-19 |
| 发明（设计）人： | 张小军 | 申请（专利权）人： | 咸阳彩虹光电科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 西安嘉思特知识产权代理事务所(普通合伙) 61230 | 代理人： | 张晓 |
| 地址： | 712000 陕*** | 国省代码： | 陕西;61 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型涉及一种靶材固定装置，所述绝缘固定装置包括：包括若干绝缘固定块，其中，所述绝缘固定块上设置有若干贯穿于所述绝缘固定块上下表面的第一固定通孔，且每个所述第一固定通孔和靶材冲击位置之间还设置有一防导通凹槽结构。本实用新型提供的靶材固定装置，因为防导通凹槽结构使其避免了靶材溅射过程中薄膜落入固定通孔而导致绝缘性差的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 固定 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于咸阳彩虹光电科技有限公司，未经咸阳彩虹光电科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201920728904.4/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种预制钢筋混凝土柱
- 下一篇：一种用于涡流纺纱机的进气可调式涡流管
- 同类专利
- 专利分类
