[实用新型]碳化硅晶片用陶瓷盘的平面度修复装置有效
| 申请号： | 201920741063.0 | 申请日： | 2019-05-22 |
| 公开（公告）号： | CN209998980U | 公开（公告）日： | 2020-01-31 |
| 发明（设计）人： | 郑东;王鑫 | 申请（专利权）人： | 青岛鑫嘉星电子科技股份有限公司 |
| 主分类号： | B24B53/02 | 分类号： | B24B53/02;B24B57/02 |
| 代理公司： | 37212 青岛发思特专利商标代理有限公司 | 代理人： | 巩同海 |
| 地址： | 266114 山*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种碳化硅晶片用陶瓷盘的平面度修复装置，属于陶瓷盘平整度修复技术领域。其技术方案为：包括转动加工盘、阻挡组件和研磨液喷射器；所述阻挡组件包括悬挂臂；所述悬挂臂的一端固定在支撑柱上，另一端悬在转动加工盘的上方；所述悬挂臂悬在转动加工盘上方的一端设有弧形的阻挡臂，以阻挡陶瓷盘随转动加工盘一起转动；所述阻挡臂的两端分别设有滚轮，以使陶瓷盘能够在转动加工盘上自转；所述研磨液喷射器用于向转动加工盘的盘面上喷射研磨液。本实用新型一方面可以节省人工成本，且修复的陶瓷盘平面度精度高、表面粗糙度一致性好。另一方面，可以有效地减少加工设备及工序，大大降低了成本，也提高了加工效率。 | ||
| 搜索关键词： | 转动加工盘 陶瓷盘 悬挂臂 研磨液 本实用新型 阻挡组件 喷射器 平面度 阻挡臂 表面粗糙度 碳化硅晶片 有效地减少 修复 加工设备 加工效率 人工成本 修复装置 一致性好 平整度 支撑柱 滚轮 自转 喷射 转动 阻挡 | ||
【主权项】：
1.一种碳化硅晶片用陶瓷盘的平面度修复装置，其特征在于：/n包括转动加工盘(1)、阻挡组件和研磨液喷射器(2)；/n所述阻挡组件包括悬挂臂(3)；/n所述悬挂臂(3)的一端固定，另一端悬在转动加工盘(1)的上方；/n所述悬挂臂(3)悬在转动加工盘(1)上方的一端设有弧形的阻挡臂(4)，以阻挡陶瓷盘随转动加工盘(1)一起转动；/n所述阻挡臂(4)的两端分别设有滚轮(5)，以使陶瓷盘能够在转动加工盘(1)上自转；/n所述研磨液喷射器(2)用于向转动加工盘(1)的盘面上喷射研磨液。/n
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