[实用新型]一种集成电路基板传送阻力感应装置有效
| 申请号： | 201920747830.9 | 申请日： | 2019-05-23 |
| 公开（公告）号： | CN209607709U | 公开（公告）日： | 2019-11-08 |
| 发明（设计）人： | 李海英;陈志祥;刘国才;陈有章;候绪明 | 申请（专利权）人： | 深圳市普润德科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/67 | 分类号： | H01L21/67;H01L21/677 |
| 代理公司： | 深圳市金信启明知识产权代理有限公司 44484 | 代理人： | 周斌 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市宝安区福永街道*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种集成电路基板传送阻力感应装置，包括固定座及机械臂夹持组件，还包括阻力滑动组件，阻力滑动组件与固定座滑动连接，机械臂夹持组件与阻力滑动组件连接并用于夹持基板，固定座连接外部驱动机构驱动固定座移动；固定座设置有吸合块，吸合块分别设置有限位钉及传感器，所述阻力滑动组件上临近所述吸合块位置设置有磁性件，所述限位钉与阻力滑动组件抵接使得磁性件与吸合块保持吸力并处于传感器的有效感应距离内，阻力滑动组件在机械臂夹持组件夹持的基板受到阻力时向远离吸合块的方向滑动。本实用新型使得集成电路的基板在传送过程中能及时感应外部阻力而停止继续传送，避免了基板的损坏。 | ||
| 搜索关键词： | 滑动组件 固定座 吸合块 夹持组件 机械臂 基板 集成电路基板 本实用新型 感应装置 传送 磁性件 传感器 吸力 有效感应距离 传送过程 滑动连接 机构驱动 夹持基板 外部驱动 滑动 限位钉 抵接 夹持 位钉 集成电路 外部 移动 | ||
【主权项】：
1.一种集成电路基板传送阻力感应装置，包括固定座及机械臂夹持组件，其特征在于，还包括阻力滑动组件，阻力滑动组件与固定座滑动连接，机械臂夹持组件与阻力滑动组件连接并用于夹持基板，固定座连接外部驱动机构驱动固定座移动；固定座设置有吸合块，吸合块分别设置有限位钉及传感器，所述阻力滑动组件上临近所述吸合块位置设置有磁性件，所述限位钉与阻力滑动组件抵接使得磁性件与吸合块保持吸力并处于传感器的有效感应距离内，阻力滑动组件在机械臂夹持组件夹持的基板受到阻力时向远离吸合块的方向滑动。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
