[实用新型]一种蚀刻机有效
| 申请号： | 201920756717.7 | 申请日： | 2019-05-24 |
| 公开（公告）号： | CN210314490U | 公开（公告）日： | 2020-04-14 |
| 发明（设计）人： | 傅其裕 | 申请（专利权）人： | 百腾科技（苏州）有限公司 |
| 主分类号： | C23F1/08 | 分类号： | C23F1/08;C23F1/12 |
| 代理公司： | 北京科亿知识产权代理事务所(普通合伙) 11350 | 代理人： | 汤东凤 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州市工业*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种蚀刻机，该种蚀刻机包括箱体、腔体、产品放置容器、真空抽取装置、氮气输送装置、二氟化氙输送装置和显示器，所述箱体前侧连接设置有腔体，腔体内放置有产品放置容器，产品放置容器底部连接有真空抽取装置，产品放置容器还连接有氮气输送装置和二氟化氙输送装置，箱体前端设有显示器，箱体内还设置有控制箱，显示器与控制箱电气连接。通过上述方式，本实用新型结构简单，能够对产品进行蚀刻处理，能够清除残留气体，保证管道内清洁，保证元器件不会受XeF2气体腐蚀；确保蚀刻的真空环境；能够均匀蚀刻产品。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 蚀刻 | ||
【主权项】：
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