[实用新型]一种光刻机的取片装置有效
| 申请号： | 201920766077.8 | 申请日： | 2019-05-27 |
| 公开（公告）号： | CN209939858U | 公开（公告）日： | 2020-01-14 |
| 发明（设计）人： | 徐峥 | 申请（专利权）人： | 南阳凯鑫光电股份有限公司 |
| 主分类号： | B65G47/90 | 分类号： | B65G47/90;B65G49/06;G03F7/20 |
| 代理公司： | 11589 北京劲创知识产权代理事务所(普通合伙) | 代理人： | 王志敏 |
| 地址： | 473001 *** | 国省代码： | 河南;41 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种光刻机的取片装置，包括第一支撑板，第一支撑板的顶端侧壁固定有垂直设置的第二支撑板，第二支撑板的顶端侧壁固定有气缸，气缸的活塞杆穿过第二支撑板固定有滑板，且滑板的一端在第一支撑板侧壁滑动连接，滑板的底端侧壁滑动连接有滑块，滑块远离滑板的一端固定有第三支撑板，第三支撑板的底端两侧固定有对称设置的固定板，其中一个固定板的一侧侧壁固定有步进电机，步进电机的输出轴通过联轴器固定有转轴。本实用新型能够对不同大小的基片进行自动夹持取片，提高了实用性，而且能够对基片进行送出，提高了便捷性。 | ||
| 搜索关键词： | 支撑板 滑板 本实用新型 步进电机 顶端侧壁 滑动连接 固定板 侧壁 滑块 气缸 联轴器固定 垂直设置 底端侧壁 对称设置 取片装置 自动夹持 便捷性 光刻机 活塞杆 输出轴 底端 取片 送出 转轴 穿过 | ||
【主权项】：
1.一种光刻机的取片装置，包括第一支撑板，其特征在于，所述第一支撑板的顶端侧壁固定有垂直设置的第二支撑板，第二支撑板的顶端侧壁固定有气缸，气缸的活塞杆穿过第二支撑板固定有滑板，且滑板的一端在第一支撑板侧壁滑动连接，所述滑板的底端侧壁滑动连接有滑块，滑块远离滑板的一端固定有第三支撑板，第三支撑板的底端两侧固定有对称设置的固定板，其中一个固定板的一侧侧壁固定有步进电机，步进电机的输出轴通过联轴器固定有转轴，转轴远离步进电机的一端与另一个所述固定板侧壁转动连接，所述转轴的外侧壁开设有反向设置的螺纹，所述第三支撑板的底端侧壁滑动连接有对称设置的移动板，移动板上开设有左右贯穿的螺纹孔，且转轴的一端穿过螺纹孔。/n
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