[实用新型]一种用于蒸镀机的坩埚有效
申请号: | 201920770644.7 | 申请日: | 2019-05-27 |
公开(公告)号: | CN210596239U | 公开(公告)日: | 2020-05-22 |
发明(设计)人: | 不公告发明人 | 申请(专利权)人: | 福建华佳彩有限公司 |
主分类号: | C23C14/24 | 分类号: | C23C14/24;C23C14/12 |
代理公司: | 福州市博深专利事务所(普通合伙) 35214 | 代理人: | 张明 |
地址: | 351100 福*** | 国省代码: | 福建;35 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种用于蒸镀机的坩埚,包括坩埚,坩埚的外侧壁上包裹着坩埚加热罩,坩埚加热罩包括至少两个坩埚加热区,每一个坩埚加热区上设置有一组坩埚加热装置;本实用新型通过在坩埚加热罩上设置有至少两个坩埚加热区,每一个坩埚加热区上设置有一组坩埚加热装置,与坩埚加热装置连接的外部控制机构能根据各区的设定温度,控制坩埚加热装置,实时调整坩埚上各区的加热温度,使蒸镀过程中坩埚的整体镀率能够更加均匀,保证有机膜成膜的均匀性。 | ||
搜索关键词: | 一种 用于 蒸镀机 坩埚 | ||
【主权项】:
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