[实用新型]一种磁控溅射镀膜机中的靶体伸缩机构有效
| 申请号： | 201920777295.1 | 申请日： | 2019-05-27 |
| 公开（公告）号： | CN210394504U | 公开（公告）日： | 2020-04-24 |
| 发明（设计）人： | 李志荣;李志方;潘锐华;陈思 | 申请（专利权）人： | 东莞市汇成真空科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 广州知友专利商标代理有限公司 44104 | 代理人： | 赖智威;周克佑 |
| 地址： | 523820 广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种磁控溅射镀膜机中的靶体伸缩机构，其包括滑动套管、动密封组件、直线运动机构和连接板，滑动套管可滑动穿过镀膜机的壁板上的穿孔；靶体固定安装在滑动套管的里端；动密封组件安装在穿孔处，实现动密封；直线运动机构安装在镀膜机的壁板外侧，与滑动套管对应，直线运动方向与滑动套管的滑动方向平行；连接板连接滑动套管的外端和直线运动机构的活动端；直线运动机构通过连接板带动滑动套管作伸缩运动。本实用新型伸缩稳定、密封稳定。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 磁控溅射 镀膜 中的 伸缩 机构 | ||
【主权项】：
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