[实用新型]一种抛光液冷却装置有效
| 申请号： | 201920780639.4 | 申请日： | 2019-05-28 |
| 公开（公告）号： | CN210790582U | 公开（公告）日： | 2020-06-19 |
| 发明（设计）人： | 宋迎顺 | 申请（专利权）人： | 精晶科技（湖北）有限公司 |
| 主分类号： | B24B57/00 | 分类号： | B24B57/00 |
| 代理公司： | 无锡市大为专利商标事务所(普通合伙) 32104 | 代理人： | 朱建均 |
| 地址： | 431800 湖北省荆门市京山*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种抛光液冷却装置，属于半导体材料抛光技术领域。其包括供液桶、水冷箱、水泵，供液桶的桶壁是由内壁、中间壁和外壁构成的三层结构，三层结构的内壁形成储液腔，三层结构的内壁和中间壁之间形成出液腔，三层结构的中间壁和外壁之间形成冷却腔，在出液腔的内壁上开设有一个或多个出液孔，在出液腔顶部设有出液管，入水管接头通过管道与水泵出液口相接，水泵入液口通过管道与水冷箱出水口相接，出水管接头通过管道与水冷箱入水口相接。本实用新型通过设置三层结构桶壁，将抛光液冷却装置分为储液腔、出液腔和冷却腔三个腔室，使得抛光液冷却装置能对待使用的抛光液快速降温后循环利用，结构简单、冷却效果好、实用性强。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 抛光 冷却 装置 | ||
【主权项】：
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