[实用新型]一种平板式PECVD设备腔体充气装置

摘要

本实用新型公开了一种平板式PECVD设备腔体充气装置，包括腔体、及与腔体铰接的腔盖，还包括上充气组件和/或下充气组件，上充气组件包括设于腔盖上的上充气接头及设于腔盖内表面的上填充块，上填充块的上表面设有上导流槽，上充气接头与上导流槽连通，上导流槽配设有多个上出气口，多个上出气口分设于腔盖的四周；所述下充气组件包括设于腔体底部的下充气接头及设于腔体内的下填充块，所述下填充块的下表面设有下导流槽，所述下充气接头与下导流槽连通，所述下导流槽配设有多个下出气口，多个所述下出气口分设于所述腔体的四周。本实用新型具有结构简单、有利于防止工件受到冲击而碎裂等优点。