[实用新型]一种带有集成控制系统的靶材烧结炉有效
| 申请号： | 201920802416.3 | 申请日： | 2019-05-30 |
| 公开（公告）号： | CN210220727U | 公开（公告）日： | 2020-03-31 |
| 发明（设计）人： | 李兵 | 申请（专利权）人： | 东莞市欧莱溅射靶材有限公司 |
| 主分类号： | F27D19/00 | 分类号： | F27D19/00 |
| 代理公司： | 北京天盾知识产权代理有限公司 11421 | 代理人： | 林晓宏 |
| 地址： | 523000 广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种带有集成控制系统的靶材烧结炉，集成控制系统设置三相电源输入端，三相电源输入端并联有电源控制电路、升降驱动电路、炉温控制电路和炉压控制电路，电源控制电路设置有电源启动模块、人机输入界面、PLC控制单元，升降驱动电路设置有一变频支路，PLC控制单元通过信号输出端口导通或切断变频支路的，变频支路的输出端电连接升降驱动电机；炉压控制电路设置有一固态继电器，固态继电器的输入控制端电连接PLC控制单元的信号输出端口，固态继电器的受控输出端电连接排气阀，炉温控制电路电连接发热元件。本实用新型能够根据靶材生产工艺需求调控工作台的工作速度，且能稳定地控制烧结炉的炉压。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 带有 集成 控制系统 烧结炉 | ||
【主权项】：
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