[实用新型]一种光罩盒有效
| 申请号： | 201920802761.7 | 申请日： | 2019-05-30 |
| 公开（公告）号： | CN210063763U | 公开（公告）日： | 2020-02-14 |
| 发明（设计）人： | 段克波 | 申请（专利权）人： | 博福特(厦门)新材料有限公司 |
| 主分类号： | B65D25/10 | 分类号： | B65D25/10;B65D43/26;G03F1/66 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 361116 福建省厦*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种光罩盒，包括底盒、上盖和固定夹。该底盒和上盖通过固定夹扣住底盒边缘使之形成闭合的容纳晶圆的容置空间，所述固定夹对称安装于上盖边缘的中间位置，固定夹中部对称有两个沉头孔，两个沉头孔的位置装有限位柱，限位柱上套接复位弹簧，所述上盖内表面对称装有数个缓冲套件，缓冲套件包括缓冲柱、橡胶套和T字型的防滑套，缓冲套件与放于盒内的晶圆上表面接触，橡胶套有一通孔，橡胶套上端部分与缓冲柱固定插接，T字型防滑套插入橡胶套的下端。本实用新型提供的光罩盒具有改良的缓冲套件和固定夹的复位弹簧的限位柱的设置，便于缓冲套件的安装和保证了安装复位弹簧的稳定性。 | ||
| 搜索关键词： | 缓冲套件 固定夹 橡胶套 复位弹簧 本实用新型 沉头孔 防滑套 光罩盒 缓冲柱 限位柱 底盒 晶圆 上盖 对称 上盖内表面 闭合 底盒边缘 对称安装 固定插接 容置空间 上盖边缘 上表面 上端 扣住 上套 位柱 下端 改良 容纳 保证 | ||
【主权项】：
1.一种光罩盒，包括底盒、上盖和固定夹，该底盒和上盖通过固定夹扣住底盒边缘使之形成闭合的容纳晶圆的容置空间，固定夹与上盖通过一转轴铰接构成，其特征在于：所述固定夹对称安装于上盖边缘的中间位置，固定夹由按压部和勾部成L字型一体连接组成，位于按压部上方的上盖设有两个沉头孔，沉头孔底部装有限位柱，限位柱上套接复位弹簧，复位弹簧的另一端与按压部上表面抵接；所述上盖内表面对称装有数个缓冲套件，缓冲套件包括缓冲柱、橡胶套和T字型的防滑套，缓冲套件与放于盒内的晶圆上表面接触，橡胶套有一通孔，橡胶套上端部分与缓冲柱固定插接，T字型防滑套插入橡胶套的下端。/n
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