[实用新型]一种便于排杂的多晶硅铸锭炉结构有效
申请号: | 201920811097.2 | 申请日: | 2019-05-31 |
公开(公告)号: | CN210262077U | 公开(公告)日: | 2020-04-07 |
发明(设计)人: | 谭晓嘉;周一超;李学科;巢泽翔 | 申请(专利权)人: | 扬州续笙新能源科技有限公司 |
主分类号: | C30B28/06 | 分类号: | C30B28/06;C30B29/06 |
代理公司: | 南京苏科专利代理有限责任公司 32102 | 代理人: | 徐素柏 |
地址: | 225899 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型涉及多晶铸锭炉领域内一种便于排杂的多晶硅铸锭炉结构,包括炉体,所述炉体内设有隔热笼,隔热笼的内部设有热交换平台,所述热交换平台上设置有坩埚,所述隔热笼内周设有加热器,所述隔热笼外周设有石墨保温罩,所述石墨保温罩的顶部开设有若干用于内部结构安装的安装孔,所述石墨保温罩侧向的上部低于坩埚上口边缘的位置设有若干排杂孔,所述排杂孔的最大孔径为3~6cm,所述排杂孔的位置避开隔热笼的笼骨部位并与石墨保温罩外侧的炉体内腔连通。本实用新型的便于排杂的多晶硅铸锭炉结构,通过排杂孔及时的将融化及长晶时产生的杂质排出熔融液表面,从而有效的减少提纯锭头部杂质的堆积,减少顶部红外阴影面积,提高少子寿命。 | ||
搜索关键词: | 一种 便于 多晶 铸锭 结构 | ||
【主权项】:
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