[实用新型]传输装置有效

申请号：	201920813603.1	申请日：	2019-05-31
公开（公告）号：	CN210052725U	公开（公告）日：	2020-02-11
发明（设计）人：	兰立广	申请（专利权）人：	东泰高科装备科技有限公司
主分类号：	H01L21/677	分类号：	H01L21/677;H01L21/68;H01L21/67;H01L21/683
代理公司：	11112 北京天昊联合知识产权代理有限公司	代理人：	彭瑞欣;张天舒
地址：	102200 北京市昌平***	国省代码：	北京;11
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摘要：	本实用新型提供一种传输装置，包括传送带，该传送带(1)的承载面(11)包括衬底承载区(111)和围绕在衬底承载区(111)四周的薄膜承载区(112)；传输装置还包括柔性支撑层(2)和抽真空机构，柔性支撑层(2)设置在薄膜承载区(112)上，且在柔性支撑层(2)中分布多个通孔；在薄膜承载区(112)和衬底承载区(111)中均分布有多个抽真空孔，抽真空机构用于经由薄膜承载区(112)中的抽真空孔和柔性支撑层(2)中的通孔吸附薄膜(32)超出衬底(31)边缘的部分(32a)，及经由衬底承载区(111)中的抽真空孔吸附衬底(31)。本实用新型提供的传输装置，可以实现对薄膜的平整固定，同时避免薄膜发生翘曲及形变，从而便于进行后续的激光刻蚀工艺。
搜索关键词：	承载区衬底薄膜柔性支撑层抽真空孔传输装置本实用新型抽真空机构传送带通孔激光刻蚀工艺吸附薄膜承载面形变翘曲吸附平整
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【主权项】：

1.一种传输装置，包括传送带(1)，其特征在于，所述传送带(1)的承载面(11)包括衬底承载区(111)和围绕在所述衬底承载区(111)四周的薄膜承载区(112)；/n所述传输装置还包括柔性支撑层(2)和抽真空机构，其中，/n所述柔性支撑层(2)设置在所述薄膜承载区(112)上，且在所述柔性支撑层(2)中分布多个通孔；/n在所述薄膜承载区(112)和所述衬底承载区(111)中均分布有多个抽真空孔(13)，所述抽真空机构用于经由所述薄膜承载区(112)中的所述抽真空孔(13b)和所述柔性支撑层(2)中的所述通孔吸附薄膜(32)超出衬底(31)边缘的部分(32a)，及经由所述衬底承载区(111)中的所述抽真空孔(13a)吸附衬底(31)。/n

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H 电学

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