[实用新型]一种小型可移动式等离子体表面改性设备有效
| 申请号： | 201920819678.0 | 申请日： | 2019-05-31 |
| 公开（公告）号： | CN210065891U | 公开（公告）日： | 2020-02-14 |
| 发明（设计）人： | 蔺增;李绍杰;孙飞;张亮霞;王磊;刘兴龙 | 申请（专利权）人： | 泰安东大新材表面技术有限公司;东北大学 |
| 主分类号： | C23C8/36 | 分类号： | C23C8/36;C23C16/50 |
| 代理公司： | 37221 济南圣达知识产权代理有限公司 | 代理人： | 吕薇 |
| 地址： | 271000 山东省*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种小型可移动式等离子体表面改性设备，所述设备包括壳体，所述壳体内设置有真空反应装置、气瓶、偏压电源、控制器和真空泵等，所述真空反应装置内顶部设置有辅助电极，所述真空反应装置内底部中间位置固定设置有基片台，所述基片台上设置有电极；通过在电极间加载较高的偏压，从而在极板间产生辉光放电，反应气体进入反应区，形成辉光等离子体，发生等离子体渗氧、渗氮或者薄膜沉积，完成材料表面改性；本实用新型所述等离子体表面改性设备可以在一个设备上实现离子渗氧或渗氮以及薄膜沉积过程，设备连续性较高，使用方便，生产效率高，而且所述设备结构紧凑、体积小，可以自由移动。 | ||
| 搜索关键词： | 真空反应装置 等离子体表面改性 本实用新型 电极 渗氮 等离子体 薄膜沉积过程 材料表面改性 底部中间位置 辉光等离子体 小型可移动式 薄膜沉积 反应气体 辅助电极 固定设置 辉光放电 偏压电源 设备结构 生产效率 控制器 反应区 基片台 离子渗 内顶部 体积小 真空泵 极板 加载 壳体 气瓶 渗氧 紧凑 体内 | ||
【主权项】：
1.一种小型可移动式等离子体表面改性设备，其特征在于，所述设备包括壳体，所述壳体内右上方固定安装有真空反应装置，所述壳体的内部左上方固定安装偏压电源，所述壳体内底部中间位置固定有气瓶，所述气瓶的后方设置有真空泵，所述真空泵与真空反应装置的出气口连接；/n所述真空反应装置的顶部设置有密封盖板，在密封盖板内侧面的中间位置安装有辅助阳极，所述辅助阳极与密封盖板之间设置有绝缘层；所述真空反应装置内侧顶部密封盖板的下方设置有匀气环；所述真空反应装置内底部中间位置固定设置有基片台，在基片台上设置有绝缘胶垫，所述绝缘胶垫上设置有电极；所述真空反应装置的外侧底部分别设置有进气口、出气口和电极法兰；所述电极通过电极连接线与真空反应装置下部的电极法兰连接，然后与偏压电源的负极连接，所述偏压电源的正极与辅助阳极连接。/n
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