[实用新型]一种用于隔离单晶炉主炉室与副炉室的隔离机构有效

专利信息
申请号: 201920850072.3 申请日: 2019-06-06
公开(公告)号: CN210262072U 公开(公告)日: 2020-04-07
发明(设计)人: 王志磊 申请(专利权)人: 晶创铭盛电子科技(香河)有限公司
主分类号: C30B15/00 分类号: C30B15/00;C30B29/06
代理公司: 北京志霖恒远知识产权代理事务所(普通合伙) 11435 代理人: 杨玉廷
地址: 065400 河北省廊坊市香河经济技术开发*** 国省代码: 河北;13
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摘要: 实用新型公开了一种用于隔离单晶炉主炉室与副炉室的隔离机构,包括主炉室、副炉室和翻板阀,主炉室安装在炉体的底座的上平面上,主炉室的顶部的盖体与翻板阀的底部环面密封连接,副炉室与翻板阀的顶部环面密封连接;还包括风机、送风管、出风管和阀门,在翻板阀的阀体的两侧分别开设有入风口和出风口,且入风口和出风口呈对称状设置,入风口和出风口分别与送风管和出风管连接,在风机的出风口的内部安装有滤网,风机的出风口与送风管之间通过管道连接件固定,在送风管和出风管的管体上均安装有阀门。本实用新型可以在单晶炉工作完毕后,将翻板阀内的翻板上粘附的物料吹出翻板阀外,避免翻板上粘附大量物料影响翻板的正常翻转速度及幅度。
搜索关键词: 一种 用于 隔离 单晶炉主炉室 副炉室 机构
【主权项】:
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