[实用新型]刻蚀设备有效
| 申请号： | 201920862026.5 | 申请日： | 2019-06-10 |
| 公开（公告）号： | CN209785874U | 公开（公告）日： | 2019-12-13 |
| 发明（设计）人： | 潘磊 | 申请（专利权）人： | 长鑫存储技术有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32;H01L21/67 |
| 代理公司： | 31294 上海盈盛知识产权代理事务所(普通合伙) | 代理人： | 孙佳胤 |
| 地址： | 230001 安徽省合肥市蜀山*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种刻蚀设备，其包括：大气传送腔，用于容纳被刻蚀物；气体加热装置，设置在所述大气传送腔的进气口处，外界气体能够经所述气体加热装置加热后进入所述大气传送腔，以使所述大气传送腔的腔内温度升高，传送机械手臂，设置在所述大气传送腔内，用于传送被蚀刻物。本实用新型刻蚀设备的大气传送腔的腔内温度被升高，能够避免被刻蚀物四周产生水汽，且也能够避免刻蚀反应产生的残余气体低温固化，进而防止被刻蚀物被污染，同时也能够提高刻蚀设备的寿命。 | ||
| 搜索关键词： | 大气传送腔 刻蚀 刻蚀设备 气体加热装置 本实用新型 腔内 进气口 传送机械手臂 残余气体 低温固化 外界气体 水汽 蚀刻物 加热 传送 升高 容纳 污染 | ||
【主权项】：
1.一种刻蚀设备，其特征在于，包括：/n大气传送腔，用于容纳被刻蚀物；/n气体加热装置，设置在所述大气传送腔的进气口处，外界气体经所述气体加热装置加热后进入所述大气传送腔，以使所述大气传送腔的腔内温度升高；/n传送机械手臂，设置在所述大气传送腔内，用于传送被蚀刻物。/n
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