[实用新型]一种用于12寸设备的8寸开放式花篮底座装置有效
申请号: | 201920873020.8 | 申请日: | 2019-06-12 |
公开(公告)号: | CN210323765U | 公开(公告)日: | 2020-04-14 |
发明(设计)人: | 朱倩倩;江董玉;宋佳娜 | 申请(专利权)人: | 无锡职业技术学院 |
主分类号: | G03F7/20 | 分类号: | G03F7/20 |
代理公司: | 无锡华源专利商标事务所(普通合伙) 32228 | 代理人: | 冯智文 |
地址: | 214121 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型涉及机械设备技术领域,尤其为一种用于12寸设备的8寸开放式花篮底座装置,包括底座,所述底座上端开设有放置槽,且放置槽的上方平行设有吸附板,所述吸附板内设有空腔,且吸附板位于放置槽的表面安装有吸盘,所述吸盘与空腔连通,所述吸附板的上端平行设有移动板,所述移动板和吸附板之间通过电动伸缩杆连接。本实用新型通过在底座上方设置吸附板,并将吸附板可伸缩的安装在移动板上,同时利用制动盒内的电机和丝杆控制移动板的左右移动,使用过程中,采用吸附板将硅片吸附后移动到底座的放置槽内,该种方式改变了传统再用手工将硅片r放入花篮内带来的效率低下问题,一次可放入多组,提高工作效率。 | ||
搜索关键词: | 一种 用于 12 设备 开放式 花篮 底座 装置 | ||
【主权项】:
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