[实用新型]一种靶材背管喷涂设备的恒温系统有效
| 申请号： | 201920885922.3 | 申请日： | 2019-06-13 |
| 公开（公告）号： | CN209765355U | 公开（公告）日： | 2019-12-10 |
| 发明（设计）人： | 敬正柏 | 申请（专利权）人： | 东莞市欧莱溅射靶材有限公司 |
| 主分类号： | G05D23/22 | 分类号： | G05D23/22 |
| 代理公司： | 11421 北京天盾知识产权代理有限公司 | 代理人： | 林晓宏 |
| 地址： | 523000 广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及靶材背管喷涂设备技术领域，尤其是指一种靶材背管喷涂设备的恒温系统，其包括循环液容器、热交换反应装置、泵液装置和温度控制电路，循环液容器内盛装循环热交换媒介和用于加热循环热交换媒介的发热管，温度控制电路设置有三相电源输入端，三相电源输入端并联有泵液驱动支路、发热驱动支路和控温支路，泵液驱动支路电连接泵液装置，发热驱动支路电连接发热管，控温支路设置有温控器和温度传感器，温度传感器用于实时监测循环液容器内的循环热交换媒介的温度，以使温控器导通或切断发热驱动支路。本实用新型能使生产过程中靶材背管的温度趋近恒温，增强喷涂层和靶材背管的沾合力，提升良品率。 | ||
| 搜索关键词： | 驱动支路 热交换 靶材 背管 循环液 发热 三相电源输入端 温度控制电路 本实用新型 温度传感器 支路 泵液装置 喷涂设备 媒介 电连接 发热管 温控器 泵液 控温 反应装置 恒温系统 加热循环 生产过程 实时监测 良品率 喷涂层 并联 导通 盛装 | ||
【主权项】：
1.一种靶材背管喷涂设备的恒温系统，其特征在于：包括：/n循环液容器(1)，循环液容器(1)内盛装循环热交换媒介和用于加热循环热交换媒介的发热管(11)；/n热交换反应装置(2)，用于对靶材背管进行预热；/n泵液装置(3)，用于将循环液容器(1)内的循环热交换媒介泵入热交换反应装置(2)和用于将热交换反应装置(2)的循环热交换媒介回收至循环液容器(1)；/n温度控制电路，设置有三相电源输入端(01)，三相电源输入端(01)并联有泵液驱动支路(02)、发热驱动支路(03)和控温支路(04)，泵液驱动支路(02)电连接泵液装置(3)，发热驱动支路(03)电连接发热管(11)；/n控温支路(04)设置有温控器和温度传感器，温度传感器用于实时监测循环液容器(1)内的循环热交换媒介的温度，以使温控器导通或切断发热驱动支路(03)。/n
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