[实用新型]气泡排除装置及匀胶机有效
| 申请号： | 201920888347.2 | 申请日： | 2019-06-13 |
| 公开（公告）号： | CN210675762U | 公开（公告）日： | 2020-06-05 |
| 发明（设计）人： | 沈克;简永幸;张雷 | 申请（专利权）人： | 厦门通富微电子有限公司 |
| 主分类号： | B05C5/02 | 分类号： | B05C5/02;B05C11/10 |
| 代理公司： | 北京志霖恒远知识产权代理事务所(普通合伙) 11435 | 代理人： | 郭栋梁 |
| 地址： | 361000 福建省厦门市中国（福建）自由贸易试验区*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本申请公开了一种气泡排除装置及匀胶机，气泡排除装置包括第一储胶容器以及第二储胶容器，第二储胶容器密封设置，第一储胶容器与第二储胶容器之间通过第一输送管连接，第二储胶容器上设有用于输出胶体的第二输送管，第二输送管上设有第一阀门；气泡收集容器，气泡收集容器密封设置，气泡收集容器与第二储胶容器通过第三输送管连接；抽气装置，抽气装置与气泡收集容器连接，以抽取气泡收集容器中的空气。本申请提供的气泡排除装置及匀胶机可实现排除胶体中气泡的目的，提高了光刻胶在晶片表面上涂覆的均匀性，提高了成品率。 | ||
| 搜索关键词： | 气泡 排除 装置 匀胶机 | ||
【主权项】：
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