[实用新型]一种硅片磨片支撑架有效
| 申请号： | 201920890999.X | 申请日： | 2019-06-12 |
| 公开（公告）号： | CN210335533U | 公开（公告）日： | 2020-04-17 |
| 发明（设计）人： | 李杰;朱棣;于友;刘世伟;石坚 | 申请（专利权）人： | 山东九思新材料科技有限责任公司 |
| 主分类号： | B24B37/34 | 分类号： | B24B37/34;B24B37/04 |
| 代理公司： | 济南舜昊专利代理事务所(特殊普通合伙) 37249 | 代理人： | 曹媛媛 |
| 地址： | 273213 山东省*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种硅片磨片支撑架，包括安装座，所述安装座底部四角外壁均通过螺栓固定有支撑块，且安装座顶部一侧外壁通过螺栓固定有固定柱，所述固定柱一侧外壁通过螺栓固定有电动滑轨，且电动滑轨底部内壁滑动连接有滑块，所述滑块正面和背面外壁均通过固定架连接有同一个支撑架，所述滑块远离固定柱一侧外壁通过螺栓固定有支架，且支架顶部外壁通过螺栓固定于支撑架底部外壁上，所述支撑架顶部外壁通过螺钉固定有垫板，且支撑架两侧外壁均通过螺栓固定有废料槽。本实用新型能够对支撑架进行有效固定，满足了不同规格硅片磨片的研磨需要，避免了硅片磨片在研磨时出现微移的问题，从而提高了其研磨的质量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 硅片 支撑架 | ||
【主权项】：
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