[实用新型]一种防掉渣溅射挡底板有效
| 申请号： | 201920894577.X | 申请日： | 2019-06-14 |
| 公开（公告）号： | CN210001770U | 公开（公告）日： | 2020-01-31 |
| 发明（设计）人： | 李军;周文谦;谭光仁;葛剑君 | 申请（专利权）人： | 湖北亿钧耀能新材股份公司 |
| 主分类号： | C03C17/36 | 分类号： | C03C17/36;C23C14/34 |
| 代理公司： | 42216 荆州市亚德专利事务所(普通合伙) | 代理人： | 蔡昌伟 |
| 地址： | 434000 *** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本实用新型公开一种防掉渣溅射挡底板。包括：挡板，呈“L”状，其异于溅射腔体之内壁的一侧涂覆有机硅橡胶，且固定设置在腔体之呈相对设置的内壁处，呈“L”状设置的挡板之延伸部位临近溅射腔体之底端，并在挡板之间形成溅射区域；底板，呈块状，其异于溅射腔体之内壁的一侧涂覆有机硅橡胶，且固定设置在腔体之底部的冷却水管上，并与挡板之纵向呈间隔设置，形成镀膜玻璃之运行通道。本实用新型当镀膜工艺发生改变或色系转变时，溅射腔体温度相应波动，则凭借有机硅橡胶的弹性力使得靶材积渣不易崩落，有效的降低了因掉渣导致废板的数量，提高产品良率，值得业界推广使用。 | ||
| 搜索关键词： | 挡板 溅射腔体 有机硅橡胶 底板 本实用新型 固定设置 溅射 腔体 涂覆 产品良率 镀膜玻璃 镀膜工艺 间隔设置 冷却水管 相对设置 延伸部位 运行通道 弹性力 防掉渣 底端 掉渣 废板 内壁 色系 | ||
【主权项】：
1.一种防掉渣溅射挡底板，设置在溅射腔体内，其特征在于，所述防掉渣溅射挡底板包括挡板和底板，所述挡板呈“L”状，/n其异于所述溅射腔体之内壁的一侧涂覆有机硅橡胶，且固定设置在所述腔体之呈相对设置的内壁处，所述呈“L”状设置的挡板之延伸部位临近所述溅射腔体之底端，并在所述挡板之间形成溅射区域；/n所述底板呈块状，其异于所述溅射腔体之内壁的一侧涂覆有机硅橡胶，且固定设置在所述腔体之底部的冷却水管上，并与所述挡板之纵向呈间隔设置，形成镀膜玻璃之运行通道。/n
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